LTHS2 运动范围XY（µm） 75 分辨率XY（nm） 0,075 典型的噪声基准 XY（nm） 0,0075 全方位的重复性XY（nm） 0,15 线性化（典型的） 0,02% 谐振频率X / Y（Hz） 1500/1000 刚度 (N/µm) 2/2 最da负载（kg）-水平使用 0,5 最da负载（kg）-垂直使用 0,3 传感器 Silicon HR sensor 尺寸W x L x H (mm) 152,5 x 190 x 18,5 材料 Al 电缆长度（m） 2 推jian控制器 Standard or High Speed