LFHS2 运动范围XY（µm） 75 分辨率XY（nm） 0,075 典型的噪声基准 XY（nm） 0,0075 全方位的重复性XY（nm） 0,15 线性化（典型的） 0,02% 谐振频率X / Y（Hz） 3000/2000 刚度 (N/µm) 4/3 最da负载（kg）-水平使用 1 最da负载（kg）-垂直使用 0,5 传感器 Silicon HR sensor 尺寸W x L x H (mm) 120,8 x 120,7 x 28,5 材料 Al 电缆长度（m） 2 推jian控制器 High Speed