LT2.100 LT2.200 LT2.300 运动范围XY（µm） 100 200 300 分辨率XY（nm） 0,1 0,2 0,3 典型的噪声基准 XY（nm） 0,01 0,02 0,03 全方位的重复性XY（nm） 0,2 0,4 0,6 线性化（典型的） 0,02% 0,02% 0,02% 谐振频率X / Y（Hz） 500/400 400/350 300/250 刚度 (N/µm) 0,6/0,5 0,5/0,4 0,4/0,3 最da负载（kg）-水平使用 1 1 1 最da负载（kg）-垂直使用 0,5 0,5 0,5 传感器 Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor 尺寸W x L x H (mm) 155,5 x 152,5 x 15,5 155,5 x 152,5 x 15,5 155,5 x 152,5 x 15,5 材料 Al or Invar Al Al 电缆长度（m） 2 2 2 推jian控制器 Standard Standard Standard