FOC100 FOC200 FOC300 运动范围（µm） 100 200 300 分辨率（nm） 0,1 0,2 0,3 典型的噪声基准（nm） 0,01 0,02 0,03 全范围重复性（nm） 0,2 0,4 0,6 线性化（典型的） 0,02% 0,02% 0,02% 谐振频率（hz) 500 350 250 刚度 (N/µm) 0,6 0,4 0,3 最da负载（kg）-水平使用 0,5 0,5 0,5 最da负载（kg）-垂直使用 0,5 0,5 0,5 传感器 Silicon HR sensor Silicon HR sensor Silicon HR sensor 尺寸：W x L x H (mm) 53,6 x 64,2 x 34,50 53,6 x 64,2 x 34,50 53,6 x 64,2 x 34,50 材料 Al Al Al 电缆长度（m） 2 2 2 推jian控制器 Standard Standard Standard