|
|
HS1.30 APERTURE |
HS1.50 APERTURE |
HS1.70 APERTURE |
|
运动范围（µm） |
30 |
50 |
70 |
|
分辨率（nm） |
0,03 |
0,05 |
0,07 |
|
典型的噪声基准（nm） |
0,003 |
0,005 |
0,007 |
|
全范围重复性（nm） |
0,06 |
0,1 |
0,14 |
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线性化（典型的） |
0,02% |
0,02% |
0,02% |
|
谐振频率（hz) |
4000 |
4000 |
4000 |
|
刚度 (N/µm) |
3 |
3 |
3 |
|
最da负载（kg）-水平使用 |
1 |
1 |
1 |
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最da负载（kg）-垂直使用 |
0,5 |
0,5 |
0,5 |
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传感器 |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
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尺寸：W x L x H (mm) |
62,5 x 96,10 x 12,6 |
62,5 x 116,10 x 12,6 |
62,5 x 138,10 x 12,6 |
|
材料 |
Al |
Al |
Al |
|
电缆长度（m） |
2 |
2 |
2 |
|
推jian控制器 |
Standard or High Speed |
Standard or High Speed |
Standard or High Speed |