美国AE直流电源维修MDX-5K射频电源维修
北京天浦正达AE直流电源维修中心可维修故障范围包括:
无输出,烧保险,开不了机,面板无显示修,启动无输出,输出电压不正常,带不了负载,模块坏等
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AE MDX系列直流电源操作
前面板：
AE MDX直流电源操作及接线说明
1）指示灯
Output Power
a)Stop的指示灯亮时，表示电源已关闭
b)Start的指示灯亮时，表示电源已打开Regulation
a)Power的指示灯亮时，表示电源处于功率模式，设定值是功率值
b)Current的指示灯亮时，表示电源处于电流模式，设定值是电流值
c)Power和Current的指示灯同时亮时，表示电源处于电压模式，设定值是电压值
d)Power和Current的指示灯同时闪时，表示电源处于未知模式Status
a)Arc指示灯亮时，表示腔室内阻抗过低，输出电流过电源规定的大值
b)Setpoint指示灯亮时，表示电源的输出值已经达到设定值
c)Remote指示灯亮时，表示电源的开关或设置值处于远控模式
d)Output指示灯亮时，表示电源已经打开
e)Plama指示灯亮时，表示输出电流大于10mA
f)Interlock指示灯亮时，表示互锁已经满足，若不满足，则该灯闪烁
Level键：用于设置电源参数
Display键：按改键可切换显示功率、电压或者电流
拨码开关
RAMP，0.1 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为0.1秒
RAMP，1.0 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为1.0秒
RAMP，10 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为10秒C HOLD：开关置下时，可缩短一次以后电源输出值达到设定值的时间ON/OFF：开关置上时，表示通过User Port来打开或者关闭电源，置下时，表示通过前面板打开或者关闭电源
AE电源维修常见型号系列：
AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修
射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统
AE CESAR 1330 射频电源维修 AE PEII-10K镀膜电源维修 AE射频电源RF-5S维修 AE射频电源RFG3000维修
