它的工作原理是氧气(或空气)通过高频高压电场，使氧转化为臭氧，并及时与水混合，利用臭氧的强氧化作用，杀灭水中的细菌。杀灭细菌效果浓度，可以通过改变进水压力、气量、电流等调节来达到。
由于臭氧在水中的氧化还原电位为2.07V，比氯(1.36V)高，所以在臭氧量仅为氯的万分之一时，灭菌效果比氯及其它药剂快600～3000倍，数秒内可杀死细菌。
主机采用高浓度臭氧发生器件,为不锈钢石英介质的发生管：水冷、风冷双冷技术：优化的气源处理系统配置：进口电源核心部件，数字控制电源技术，具有稳压变频和升压三大功能：可连续24小时不间断工作：专用电源和放电管形成匹配：采用电源软开关技术，效率达95％以上：也可根据用户要求配制臭氧紫外线双重消毒装置（UV-O3）。