SSGM国产的动态气体稀释混合装置采用质量流量计原理的配气仪主要利用程序编程器控制质量流量计的流量,从而实现不同气体的配比,主要特点是配气精度高(小于0.5%),对于不同种类的气体,需要采用不同的配气仪,一般只能配置设定出厂设定浓度范围内的气体,如有其他气体需要配比,需在出厂前进行沟通和确认。还有一种是比例阀门原理的配气仪优点是气体适用范围比较广,操作比较简单,价格相对较低。常规气体,无需经过特殊设置或換算,就可以直接使用。对于气体种类和所要配比的浓度,在仪器出厂前不需要调教。但是,只能用于将两种气体进行配比;配比精度低(大于1%)。
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