设备清洗工序以设备状况不同和积垢性质不同而不同，在一般情况下锅炉化学清洗一般的步骤为：水冲洗、碱洗或碱煮、碱洗后水冲洗、酸洗、酸洗后水冲洗、漂洗和钝化、废液处理等步骤。清洗系统无油污时，碱洗除油和碱洗后水冲洗可以省去。
一、水冲洗
化学清洗前的水冲洗，对于新建设备和机械杂质较多的设备来说是非常重要的。在清洗前对系统进行彻底的水冲洗可起到一下几方面的作用：
1.临时清洗系统才冲洗
水压试验，检查有无漏点，是清洗的预演。2、设备内污物的冲洗
大流量水冲洗可出去系统表面疏松的污物。
3、辅助系统冲洗
有时为了使前面的系统污物不带入后面系统中，水冲洗可以分段进行。
二、碱洗（碱煮）
碱洗是用碱性溶液清洗，目的是除油除锈，清洗时间一般控制为8-12小时。
三、碱洗后水冲洗
碱洗后水冲洗的目的是清除残留在系统内的碱溶液，降低管壁的PH值，用过滤澄清水、软化水或除盐水进行，冲洗至出口水PH≤9,磷酸根浓度低于10mg/L即可。。
四、酸洗
酸洗除垢是整个化学清洗工序中最关键，最重要的环节，除垢效果的好坏关系到化学清洗的成败。
在酸洗过程中，每0.5h应该测定一次酸浓度和含铁量，用柠檬酸清洗时，还应测pH值。清洗中酸浓度降到一定程度时，应适当补加酸和缓蚀剂。当酸洗到既定时间或清洗溶液中Fe2+和酸含量无明显变化，同时监视管内垢已清除干净时，就可结束酸洗。
五、酸洗后水冲洗
这一步的目的是清楚系统内的酸溶液，提高管壁的PH值。冲洗的初期由于清洗系统比较脏，可以采用工业水冲洗（除盐水充足时尽量不用），冲洗后期一定要采用除盐水冲洗。冲洗标准为冲洗到出口基本无悬浮杂质，PH值为4-4.5，总铁离子浓度小于50mg/l，水质透明为止。
六、漂洗和钝化
1.漂洗的目的
是去除被清洗表面在酸洗后水冲洗时可能产生的二次浮锈，并将系统中的游离铁离子络合掩蔽，为钝化过程打好基础。