首页 供应 求购 产品 公司 登陆

NE-PE60F纳恩科技工业型真空等离子清洗机

  • 发布时间:2023-03-10 13:47:58
    报价:面议
    地址:广东,深圳,深圳市龙华区大浪街道新石社区华宁路38号港深创新园
    公司:深圳纳恩科技有限公司
    手机:17302676848
    微信:WJ17304403275
    用户等级:普通会员 已认证

    一、设备简介

    NE-PE60F 是一款大型工业用真空等离子处理系统,设备配备大功率、大腔体、密度大、高稳定性,适用于大规模连续生产。设备采用进口品牌高性能1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵快速产生超低的真空压强。同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。

    NE-PE60F 系统功能特点:

    ­耐用的高品质不锈钢结构和固定装置

    ­不锈钢托盘设计,可调节托盘间距

    ­8K镜面不锈钢腔体, 密封性

    ­13.56射频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果;

    ­直观的触摸屏,过程参数实时监控。

    ­方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求

    ­支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体

    ­通过联锁门或可移动的板

    ­高精度气体流量监测系统,两路工艺气体配置(氩气、氧气),双路气流控制,比例

    可调,采用高精度电子质量流量计(MFC)

    二、设备参数

    序号

    品名

    配置参数

    1

    设备外形尺寸

    W903×D963×H1700(mm)

    2

    腔体尺寸

    W400×D450×H370(mm);316不锈钢材质

    3

    腔体容量

    66升

    4

    电极板数量

    7个;(可根据客户要求增减层数)

    5

    有效面积+层数

    L370mm x W370mm / 共6层

    6

    电极固定方式

    插拔可拆卸

    7

    等离子发生器

    13.56MHz/500W连续调节

    自动阻抗匹配,可连续长时间工作。

    8

    气体流量控制

    (0~300)ml/min (标况下)

    MFC质量流量控制

    9

    反应气体

    2路,(氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体)

    10

    工艺气体供气管路

    Φ6不锈钢钢管+软管

    11

    腔体温度

    常温

    12

    工作真空度

    30~150Pa

    13

    真空机组

    无油干泵

    14

    真空测定系统

    英福康 皮拉尼真空硅

    测量范围:1.0×105 ~1×10-1 Pa

    15

    真空排气系统

    油雾过滤器

    16

    破真空系统

    电磁阀+单向阀+消音器

    17

    抽真空时间

    60s以内

    18

    破真空时间

    ≤15s

    19

    输入气压检测系统

    2路气压自动报警

    20

    压缩空气要求

    0.6~0.8MPa

    21

    控制系统

    7寸人机交互系统

    22

    设备工作节拍

    单次清洗时间≤8min(清洗时间 6min,具体以实际清洗时间为准)

    23

    电源

    AC380V,50/60Hz,三相五线100A

    24

    整机功率

    4KW

    25

    设备重量(设备主机/真空泵)

    500KG

    提醒:联系时请说明是从志趣网看到的。

免责申明:志趣网所展示的信息由用户自行提供,其真实性、合法性、准确性由信息发布人负责。使用本网站的所有用户须接受并遵守法律法规。志趣网不提供任何保证,并不承担任何法律责任。 志趣网建议您交易小心谨慎。

©志趣网