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NE-PE10纳恩科技100L真空等离子清洗活化机

  • 发布时间:2023-03-10 13:48:01
    报价:面议
    地址:广东,深圳,深圳市龙华区大浪街道新石社区华宁路38号港深创新园
    公司:深圳纳恩科技有限公司
    手机:17302676848
    微信:WJ17304403275
    用户等级:普通会员 已认证

    NE-PE­10是一款小型真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入的工艺气体产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。

    设备原理示意图:如上

    NE-PE10 系统功能特点:

    •耐用的高品质不锈钢结构和固定装置

    •不锈钢托盘设计,双层处理空间

    •8K镜面不锈钢腔体,卓越密封性

    •数字高频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果

    •PLC+触摸屏控制,过程参数实时监控

    •方便定期校准设备连接验证过程中使用的要求

    •支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体

    •通过联锁门或可移动的板

    •两个标准的浮子针阀流量控制器

    •性能卓越的双极旋片泵,高抽速,寿命长,耐腐蚀

    序号

    项目

    型号规格

    参数

    1

    等离子体发生器

    功率

    0-300W可调

    抗辐射干扰高频匹配器

    自动阻抗匹配

    频率

    40 KHz

    2

    真空反应腔室

    腔体材质

    进口 316 不锈钢,军工级密封

    腔体容积

    10L

    腔体尺寸

    200(L)*200(W)*270(D)mm

    电极数量

    2个镀金铝合金专用电极+ 2个铝合金托盘

    托盘尺寸

    W*D :180(W)×220(D)mm

    处理层数

    2层

    绝缘陶瓷

    进口高频陶瓷

    3

    气路控制

    气体流量控制器

    浮子针阀流量控制器, 0-500ML

    气路数量

    最小2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气,四氟化碳等

    4

    真空测量

    真空计

    SMC 真空计

    5

    抽气系统

    真空泵

    飞越 16M3/H

    极限真空度

    0.1PA

    真空管路

    不锈钢管路+气动阀门

    6

    控制系统

    触摸屏

    4.3寸

    PLC

    松下PLC模块

    软件程序

    自主专利设计等离子控制系统

    7

    场务条件

    电源供应

    220V

    气管接口

    直径8mm

    气体纯度

    99.99%

    气体压力

    0.3-0.6Mpa

    排气口

    KF25

    8

    整机参数

    整机功率

    1000W

    外形尺寸

    460(L)*460(W)*650(H)mm

    (不含三色灯高度)

    重量

    60kg

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