一、设备简介
NE-PE13F是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE13F 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，气体控制
二、设备参数
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序号 |
项目 |
型号规格 |
参数 |
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1 |
等离子体发生器 |
功率 |
0-300W可调 |
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抗辐射干扰高频匹配器 |
自动阻抗匹配 |
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频率 |
13.56 MHz |
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2 |
真空反应腔室 |
腔体材质 |
进口 316 镜面不锈钢，军工级密封 |
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腔体容积 |
240(W)*280(D)*200(H)mm; 13.5L |
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腔体有效处理面积 |
205（W）×205（D）mm |
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绝缘陶瓷 |
进口高频陶瓷 |
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3 |
放电电极 |
电极 |
高导电铝合金专用电极 |
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放电形式 |
CCP & RIE 离子反应放电模式 |
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电极间距 |
可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，极大提升处理能力和效率 |
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4 |
气路控制 |
气体流量控制器 |
浮子针阀流量控制器， 0-1000ML |
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气路设计 |
腔体双侧均匀进气气路设计，保证清洗，刻蚀均匀性 |
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气路数量 |
配置2路工艺气路，可支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳，NH3,CCL4等 |
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5 |
真空测量 |
真空计 |
日本 SMC |
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6 |
抽气系统 |
真空泵 |
飞越 16m³/H，加装油雾过滤器 |
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极限真空度 |
0.1PA |
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真空管路 |
不锈钢管路+气动阀门 |
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7 |
控制系统 |
PLC |
松下PLC模块 |
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触摸屏 |
4.3寸 |
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软件程序 |
自主专利设计等离子控制系统 |
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8 |
场务条件 |
电源供应 |
220V |
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气管接口 |
直径8mm |
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气体纯度 |
99.99% |
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气体压力 |
0.3-0.6Mpa |
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排气口 |
KF25 |
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9 |
整机参数 |
整机功率 |
1000W |
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外形尺寸 |
600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) |
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重量 |
80kg |