NE-Q05是一款石英真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。小型石英等离子清洗机结构主要包括控制单元、石英真空腔体、真空泵三部分。等离子清洗机的工作流程为：腔体抽真空—充入工艺气体—电离工艺气体并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔体内单种或者多种清洗所需气体，一般为Ar、O2、N2等，外加射频功率在平行电极之间形成交变电场，电子通过电场加速对工艺气体进行冲击使气体发生电离形成离子，作用在被清洗表面，电离产生的粒子与电子数量达到一定规模，便形成了等离子体。等离子体高速撞击材料表面，与被清洗表面污染物发生理化反应，实现材料的清洗，并利用气流将污染物排出腔体。通过等离子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面状态、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸润性能。
NE-Q05 系统功能特点：
•真空腔体材质采用石英玻璃，不易与材料表面发生反应，污染清洗样品
•等离子发生器采用13.56MHz射频发生器，自动阻抗匹配调谐
•触摸屏用户界面+PLC控制，可储存多条工艺程序，全自动运行
•配备两路气路通道，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
•整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮
•铝合金自动门：氧化处理、喷砂、光洁高档
•电路设计电流过载保护，模块式电路、维修方便快捷
•手动、自动、真空保压均可操作，不倒翁橡胶脚杯，自动平衡机器、减震
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序号 |
项目 |
型号规格 |
参数 |
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1 |
等离子体发生器 |
功率 |
0-200W可调 |
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频率 |
13.56 MHz 固态射频电源 |
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2 |
真空反应腔室 |
腔体材质 |
石英耐热玻璃 |
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腔体容积 |
5L |
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载物托盘 |
玻璃托盘，平行放置 |
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腔体直径（圆形） |
Φ150×270（D）mm |
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3 |
气路控制 |
气体流量控制器 |
浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
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气路数量 |
最小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等 |
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4 |
真空测量 |
真空计 |
SMC 真空计 |
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5 |
抽气系统 |
真空泵 |
飞越 8m³/H |
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极限真空度 |
0.1PA |
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6 |
控制系统 |
触摸屏 |
4.3寸 |
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PLC |
松下PLC模块 |
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软件程序 |
自主专利设计等离子控制系统 |
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7 |
场务条件 |
电源供应 |
220V |
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气管接口 |
直径8mm |
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气体纯度 |
99.99% |
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气体压力 |
0.3-0.6Mpa |
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排气口 |
KF25 |
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8 |
整机参数 |
整机功率 |
1000W |
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外形尺寸 |
500mm(L)×480mm(W) ×560 mm(H) |
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重量 |
40kg |