S540全自动晶圆级参数测试系统，也称功率半导体参数系统。
S540是一个全自动化的 48 引脚参数测试系统，适用于高达 3kV 的功率半导体器件和结构的晶片级测试。完全集成式 S540 已针对包括碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 在内的新复合功率半导体材料进行优化，可以在单次测试触摸中执行所有高电压、低电压和电容测试。
S540 功能
在单次探头触摸中自动在多达 48 个引脚上执行所有晶片级参数测试，包括高电压击穿、电容和低电压测量，而无需更改电缆或探头卡基础设施 在高达 3kV 的条件下执行晶体管电容测量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而无需手动配置测试引脚 在高速、多引脚、全自动测试环境中实现低电平测量性能 基于 Linux 的 Keithley 测试环境 (KTE) 系统软件支持轻松进行测试开发和快速执行 非常适合于过程集成、过程控制监控和生产芯片分类中的全自动或半自动应用 通过大程度减少测试时间、测试设置时间和占地面积，降低拥有成本，同时实现实验室级测量性能