所谓等离子体是继固体、气体、液体三态后，列为物质的第四态，由于离子、负离子、电子和中性离子组成，因体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。非平衡态等离子体电子温度可上万度，离子及中性离子可低至室温，即体系表现温度仍很低，故称“低温等离子体”，一般由气体放电产生。气体放电有多种形式，其中工业上使用的主要是电晕放电（在去除废气中的油尘上应用已相当成熟）和介质阻挡放电（用于废气中难降解物质的去除）两种。
在本机组前置处理单元中，采用了电晕放电及辉光、电子流放电为主的方式，在降低气体流速的前提下，通过初步的降解、极性分离和气流整理，进行预处理。实际上，在本机组中我们使用的低温等离子体主要采用的放电形式为双介质阻挡放电（Dielectric Barrier Discharge,简称DBD）。