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探针台手动测试晶圆探针台失效分析IV测试 创谱仪器

  • 发布时间:2023-02-24 15:03:16
    报价:面议
    地址:山东,济南,山东省济南市槐荫区德迈国际信息产业园科研楼12栋
    公司:济南创谱仪器有限公司
    手机:15550073138
    微信:CPYQ-JN
    用户等级:普通会员 已认证

    产品信息:

    在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;    

    创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。

    技术参数:

    样品台XYZR四维调节,XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定,Z轴行程10mm,XYZ整体分辨率3μm,360°旋转粗调可锁紧

    兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试    

    整体尺寸小,方便携带,底部隔振地脚,提高测试稳定性

    漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)

    探针采用进口交叉滚珠导轨/精密导轨槽,线性移动,无回程差设计

    1微米以上电极/PAD使用

    U型探针架,可以放置多个探针座

    多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;广泛用于科研院校以及公司!

    探针台手动测试晶圆探针台失效分析IV测试 创谱仪器

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