1.空气质量检测：方法：细菌学检查、除尘检查、空气湿度检查、温度检查等，用于评价洁净室内空气污染程度，以保证洁净室内空气质量。
2.表面洁净度检测：一般采用静电喷枪、除尘及胶带等，可以评价洁净室内表面清洁度，以达到该洁净度的要求。
3.基本工艺参数检测：通常采用空气流速、温度、湿度等测量，以保证洁净室工艺参数稳定，以符合洁净室要求。
4.电气安全检测：通常采用电磁辐射检测仪/仪器、电流检查、绝缘检查等技术，以确保洁净室电气安全。
5.其他：还可对洁净室内部其他设备、管道流水健康度、现场地面清洁度等进行检测，为保障洁净室运行提供质量保证。