毛细管测厚仪，属于小光斑产品方案的测量，普通膜厚仪机型，通常是测0.2/0.3mm大小，在80-7.5um的，都属于毛细管范围。毛细管除了测小光斑产品有优势，它的精度和测量时间，也比普通机型胜出一筹，Zing密度将由10%变到3%，时间由30秒变到1-3秒即可测量完毕，当然，毛细管机型的价格，也是贵出普通机型许多。
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