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供应国产激光干涉仪 SJ6000

  • 发布时间:2023-11-06 15:34:38
    报价:面议
    地址:广东,深圳,深圳市南山区西丽南山智园B1栋2楼
    公司:深圳市中图仪器股份有限公司
    手机:18928463988
    微信:chotest
    电话:0755-83311192
    用户等级:普通会员 已认证

    激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。它采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

    中图仪器SJ6000国产激光干涉仪光学测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

    产品配置

    SJ6000国产激光干涉仪光学测量仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

    其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。

    技术规格

    稳频精度 0.05ppm

    动态采集频率 50 kHz

    预热时间 ≤ 6分钟

    工作温度范围 (0~40)℃

    存储温度范围 (-20~70)℃

    环境湿度 (0~95)%RH

    线性测量距离 (0~80)m (无需远距离线性附件)

    线性测量精度 0.5ppm (0~40)℃

    角度轴向量程 (0~15)m

    角度测量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″

    平面度轴向量程 (0~15)m

    平面度测量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

    直线度轴向量程 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m

    直线度测量精度 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm

    垂直度轴向量程 短距离(0.1~3.0)m;长距离(1.0~15.0)m

    垂直度测量精度 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m

    产品功能

    (1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

    (2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

    (3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

    (4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

    (5)SJ6000国产激光干涉仪具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

    (6)支持手动或自动进行环境补偿。

    测量软件

    (1)友好的人机界面;

    (2)丰富的应用功能模块;

    (3)向导式的操作流程;

    (4)简洁化的记录管理;

    (5)支持中文、英文和俄文界面;

    (6)支持企业专属模板定制。

    供应国产激光干涉仪 SJ6000

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