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林彩虹4728
三月PX-250等离子灰化蚀刻机
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PlasmaTherm 790系列反应离子刻蚀等离子体增强系统RIE
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SAMCO列-10NT
真空泵
Edwards Spectron 5000检漏仪
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出售FEG SEM:
薄膜设备
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剑桥纳米科技公司萨凡纳S200 ALD。原子层沉积系统
阿马特AMP-3300 PECVD
CPA S-枪溅射沉积
CVC AST-601溅射机
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等离子热700
疟原虫CVD-2
等离子体热790 PECVD
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Plasmalab 80加PECVD
特美斯卡FC-1800
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Varian 3118电子束热敏
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珀金ELmer 2400-8L
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遮罩对齐器/步进器
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