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氦检真空检漏标准通常是由行业标准或者相关的国家标准制定的。不同行业和应用场景可能会有不同的标准，以下是一些常见的标准：
1.美国国家标准ANSI/HVAC 4.2: 该标准主要适用于空调、制冷设备等行业，要求检测最小泄漏率为0.4 oz/yr。
2.美国国家标准MIL-STD-883: 该标准主要适用于航空航天、国防等领域，要求检测最小泄漏率为1x10^-9 std cm^3/s。
3.欧洲标准EN 1779: 该标准主要适用于制造和维护真空设备的领域，要求检测最小泄漏率为5x10^-10 Pa m^3/s。
4.SEMI标准E77-1014: 该标准主要适用于半导体、光伏等行业，要求检测最小泄漏率为1x10^-9 atm cm^3/s。
需要注意的是，不同的检测方法和设备可能会对检测结果产生影响，因此在进行氦检真空检漏时，应当参考相应的标准，并且结合实际情况选择合适的检测方法和设备，以确保检测结果的准确性和可靠性。
