特气管路五项测试颗粒检测

我公司是三方检测机构，可提供热值及全组分测试中心，可出具CN三方检测报告。主要核心业务有氮气、氧气、天然气、压缩气体、电子工业用气体等工业气体、高纯气体、食品用气体、医用气体的检测、现场气体有害物质监测、特种石油气路检测、管道气体腐蚀检测，金属材料性能分析，综合性失效分析等。出具的检测报告具有第三方检测资质，报告可打官司，可作为司法鉴定依据！全国多家实验室分支，支持全国上门取样检测，寄样检测！检测报告可在线查询真伪！检测周期短（3个工作日即出报告），费用低！
  颗粒测试(PARTICLE COUNTING)
       在工艺应用中的高纯气体中如果含有颗粒污染物会削弱甚至破坏晶圆的回路。颗粒测试可以检查在高纯气体管
道中的颗粒污染物。激光探测器可以出色的完成对 VMB，气瓶柜，气体盘面和高纯气体管路的颗粒检查任务。也
可以提供对大宗气体，包括应用中的工艺氮气，氦气，氢气，氧气和氩气系统的颗粒检查。
特气管道颗粒测试验收标准：
参考标准：GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范
1.特种气体系统颗粒测试时，其气体流量应由管道直径确定；
2.测试气源的颗粒数应在规定颗粒直径状态为零；
3.测试气体中大于0.1~0.3微米的颗粒数应≤35颗粒/m³；连续3次达标为合格。