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白光干涉三维轮廓仪

  • 发布时间:2023-10-23 13:31:13
    报价:面议
    地址:广东,深圳,深圳市南山区西丽南山智园B1栋2楼
    公司:深圳市中图仪器股份有限公司
    手机:18928463988
    微信:chotest
    电话:0755-83311192
    用户等级:普通会员 已认证

    CHOTEST中图仪器SuperViewW1白光干涉三维轮廓仪通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,是一款对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

    针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperViewW1复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域。

    产品功能

    1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

    2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

    3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

    4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

    5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

    6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

    大尺寸样品_拼接测量.jpg

    大尺寸样品_拼接测量

    测量小尺寸样品时:可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件;

    测量大尺寸样品时:支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um;

    性能特色

    1、高精度、高重复性

    1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

    2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;

    2、环境噪声检测功能

    具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块,能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。

    3、精密操纵手柄

    集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

    4、双重防撞保护措施

    在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,保护仪器,降低人为操作风险。

    5、双通道气浮隔振系统

    既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。

    应用领域

    对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

    SuperViewW1白光干涉三维轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

    白光干涉三维轮廓仪

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