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真空检漏
真空法
真空法可以分为真空喷吹法和真空氦罩法。
真空喷吹法：先将被检件抽真空，内部与检漏仪相连，采用喷吹的方法在被检件可能存在漏孔的位置用喷枪自上而下，由近及远（相对于检漏仪位置）喷氦，如果有漏孔，氦气立即会被吸入到真空系统，氦质谱检漏仪会发出响应。其中真空喷吹法是最常用的一种检测方法，采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精准定位，而且氦气消耗少
真空氦罩法：将抽真空的被检件全部或局部放入充满一定浓度氦气的氦罩内，经过一段时间后，如检漏仪发出响应，则代表有漏点。真空氦罩法这种方法可以实现漏率的测量，这个漏率称为总漏率。此方法不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。
真空法优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品检漏。
真空法缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能检测带压工作的产品。