催化燃烧是典型的气-固相催化反应，装置工艺流程为：预处理——吸附浓缩——解吸脱附——催化燃烧的工艺流程。 催化净化装置内设加热室，启动加热装置，进入内部循环，当热气源达到有机物的90-110度时，有机物从活性炭内挥发出来，进入催化室进行催化分解成水和二氧化碳，同时释放出能量。利用释放出的能量再进入吸附床脱附时，此时加热装置完全停止工作，有机废气在催化燃烧室内维持自燃，尾气再生，循环进行，直到有机物完全从活性炭内部分离，至催化室分解。活性炭得到了再生，有机物得到分解处理。根据收集废气排风量，风速及废气浓度的大小，灵活配置废气处理设备，废气处理净化效率高，安装及维护简单方便。
活性炭催化燃烧设备进行脱附，启动催化燃烧装置预热室电源，将空气预热，预热后的气体经混流箱中和进入吸附箱，箱中活性炭受热后，活性炭吸附的溶剂挥发出来，溶剂经风机送入催化燃烧室燃烧，分解成CO2和H2O蒸汽等热空气，热空气一部分回到活性炭吸附箱继续给活性炭加热，另一部分热空气排空，热空气内部循环多次活性炭即可利用。