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氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体。由于氦气在空气中含量极少，分子小，质量轻，易于穿过漏孔。而且氦气无毒、无色、不易燃、不冷凝，在化学上是完全惰性的。进入系统后，流动与扩散亦快，在检漏过程中不受其它气体的干扰。因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的绝佳选择性检漏方法。
氦质谱的常见检测方法：根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，将氦质谱检漏法分为真空法、真空压力法和背压法。