低温等离子空气净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，放电形式产生离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生、、量的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。
低温等离子空气净化器在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到气态污染物的目的。
低温等离子空气净化器的性能特点：
与目前国内常用的异味气体治理方法相比较，等离子废气净化器具有以下特点：
1、技术，工艺简洁：开机后，即自行运转，受工况限制非常少，无需专人操作。
2、节能：无机械设备，空气阻力小，耗电量约为0.0001kw/m3废气。
3、设备使用寿命长：本设备由镀锌材料，铜材、钼材、环氧树脂等材料组成，防化学反应，采用蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。
4、结构简单：只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。无机械设备，故障率低，维修容易。
低温等离子空气净化器可用于炼油厂、橡胶厂、化工厂、制药厂、污水处理厂、垃圾转的运站等恶臭气体的脱臭净化处理。
低温等离子空气净化器从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。