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中图SJ6000超精密机床激光干涉仪

  • 发布时间:2023-11-06 15:36:55
    报价:面议
    地址:广东,深圳,深圳市南山区西丽南山智园B1栋2楼
    公司:深圳市中图仪器股份有限公司
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    电话:0755-83311192
    用户等级:普通会员 已认证

    中图SJ6000超精密机床激光干涉仪具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、高测速下分辨率高等特点,广泛应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。

    SJ6000激光干涉仪测量位移的仪器结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

    产品功能

    (1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

    (2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

    (3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

    (4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

    (5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

    (6)SJ6000超精密机床激光干涉仪支持手动或自动进行环境补偿。

    产品配置

    SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

    其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。

    SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

    部分技术规格

    稳频精度 0.05ppm

    动态采集频率 50 kHz

    预热时间 ≤ 6分钟

    工作温度范围 (0~40)℃

    存储温度范围 (-20~70)℃

    环境湿度 (0~95)%RH

    线性测量距离 (0~80)m (无需远距离线性附件)

    线性测量精度 0.5ppm (0~40)℃

    角度轴向量程 (0~15)m

    角度测量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″

    平面度轴向量程 (0~15)m

    平面度测量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

    直线度轴向量程 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m

    直线度测量精度 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm

    垂直度轴向量程 短距离(0.1~3.0)m;长距离(1.0~15.0)m

    垂直度测量精度 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m

    注意事项:

    平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组

    平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可

    短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组

    长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组

    直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

    如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

    中图SJ6000超精密机床激光干涉仪

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