维修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。电源维修的时候，需要检测一下各功率器件是否存在击穿短路，例如电源整流桥堆、开关管、高频大功率整流管、浪涌电流的大功率电阻是否烧断等，然后需要再检测各输出电压端口电阻是否异常，如上述器件有损坏的情况我们则需要进行更换器件。
等离子清洗机的原理是等离子体和材料表面进行相互作用的过程，通过等离子体里面的各类活跃粒子撞击材料表面，从而大大提高材料表面的性能。
等离子表面改性之后，其材料表面会变得更加粗糙，它让材料表面发生了刻蚀，在一定程度上满足了人们对材料表面的清洗要求。等离子清洗技术要比其他类型的清洗方式要更具优势，能够大限度的满足人们多元化的需求。
其次，经过等离子表面清洗之后，材料表面就会更具有反应性，在这个过程中，活粒子在撞击材料表面之后，其分子间的化学键就会被打开，然后产生大量的大分子基，说白了这个过程就是让材料表面更加洁净，例如可提升玻璃表面的亲水性。
