YUTAKA高纯度半导体压力调节器
L20 系列 RoHS 指令兼容产品
高压力流率标准
SUS316L，SUS + 哈氏 60 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L25 系列 RoHS 指令兼容产品
低气压标准流率类型
SUS316L，SUS + 哈氏 20 NL/ min6 MPa0.99 MPa
高纯度半导体制造工艺的精密压力调整仪器打开
L21 系列 RoHS 指令兼容产品
高压力流率标准
SUS316L，SUS + 哈氏 20 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L26 系列
低气压标准流率类型
SUS316L，SUS + 哈氏 20 6 MPa0.99 m p a，NL/min0.99 MPa 2 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L35 系列 RoHS 指令兼容产品
在低气压放电类型
SUS316L，SUS + 哈氏 100 NL/ min6 MPa0.9 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L61 系列
高压高流量类型
SUS316L，SUS + 哈氏 300 NL/min14.8 MPa0.8 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L62系列
针型高压高流量类型
SUS316L，SUS + 哈氏 300 NL/min14.8 MPa0.8 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L81 系列 RoHS 指令兼容产品
两级标准流率类型
SUS316L，SUS + 哈氏 25 NL/min14.8 MPa0.6 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L88 系列
两级标准流率类型
SUS316L25 NL/min14.8 MPa0.99 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L96 系列
绝对压力类型
SUS316L，SUS + 哈氏 5 NL/min0.99 m p a-0.1 ~ 0 ~ 0.2 m p a
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
LH1 系列
低气压高流量类型
SUS316L，SUS + 哈氏 500 NL/细胞 min6 MPa0.8 MPa
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高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
LH2 系列
低气压高流量类型
SUS316L，SUS + 哈氏 500 NL/ min6 MPa0.8 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
LM1 系列 RoHS 指令兼容产品
低气压高流量类型
SUS316L700 NL/min2 MPa0.8 MPa
高纯度半导体制造工艺的精密压力调整仪器打开
LM2 系列 RoHS 指令兼容产品
针型低气压高流量类型
SUS316L700 NL/min2 MPa0.8 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
LL1 系列
低气压高流量类型
SUS316L1000 NL/min2 MPa0.8 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
LL2 系列 RoHS 指令兼容产品
低气压高流量类型
SUS316L1500 NL/min2 MPa0.8 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L18系列 RoHS 指令兼容产品
小标准流量率类型
SUS316L，SUS + 哈氏 20 NL/min0.99 MPa0.6 MPa
高纯度半导体制造工艺精密压力调节器
L18H 系列 RoHS 指令兼容产品
在小流量率类型
SUS316L，SUS + 哈氏 30 NL/min0.99 MPa0.7 MPa
高纯度半导体制造工艺 w/o 型精密压力调节器
LS2 系列
低气压标准流率类型
SUS316L，SUS + 哈氏 20 NL/min2 MPa0.6 MPa
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