化学机械抛光(CMP)是晶圆制造的关键步骤,其作用在于减少晶圆表面的不平整,而抛光液垫是CMP技术的关键耗材,价值量较高,占CMP耗材49%价值量,其品质直接影响着抛光效果,因而对提高晶圆制造质量至关重要。在这过程中PFA的作用就体现出来了,PFA容量瓶定容精准,本底纯净可用来配置抛光液清洗液。
那么PFA容量瓶到底有哪些特性,为什么要用PFA容量瓶呢?
PFA容量瓶半透明透明可视度高,不添加回料本底值低,耐受强酸碱,金属元素铅、铀含量小于0.01ppb,无溶出与析出,是目前洁净的实验分析器皿,所以常用于半导体、多晶硅、光伏电子 锂电等行业。
常用规格:10ml 25ml 50ml 100ml 250ml 500ml 1000ml