真空镀膜超纯水设备主要用途：电子电力行业用水，半导体行业，太阳能光伏行业（单晶硅、多晶硅、太阳能电池、氧化铝坩埚、光伏玻璃），磁性材料用水，超纯材料用水，清洗用水，清洗机配套用水，超纯化学试剂配料用水，蓄电池（铅酸、锂、锌锰）用水，精细化工配料用水，实验高纯水，镀膜用水，电镀行业用水（镀金、镀银），高纯墨水用水等
设备工作要点：
（一)、为了可以阻截较小颗粒物，所以纤维过滤柱孔径不能超过5um，它起着保证进水清洁和延长下游部件使用寿命的重要作用。
使用泵在纤维柱出水口进行增压，让增压后的水进入活性碳柱。水进入活性碳柱和R.O柱时所需要的一定压力，被称之为渗透压。
(二)、广泛使用的活性碳是一种吸附剂，它可以吸附水中存在的无机物和有机物;不过它的吸附能力对不同的物质也是存在差异的
(三)、经活性碳过滤后的水再进入R.O反渗透过装置。反渗透膜的孔径一般为10A到100A之间，所以它能够去除95%以上的离子态杂质。
(四)、超纯水设备的EDI工艺系统选用经过一次反渗透除盐后的水作为进水，再经过EDI模块内离子交换树脂进行二次除盐;这样可以使纯水制造过程连续化，它替代了传统DI混合树脂床制造去离子水的方法，避免使用酸碱再生;大量减少酸碱成本投入的同时也可以有效避免环境污染。
工艺流程：
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）
3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(传统工艺)以上工艺各有各的优势，你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展，很多新的工艺已经替代了旧的工艺，目前用反渗透法制取高纯水已经普及，也是最为现今的工艺。