产品用途：探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60＊60不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为x/y/z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中x方向调节范围：0--30mm; y方向调节范围：0—20mm；z方向调节范围：0—20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需要检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
|
真空腔体 |
|
|
腔体材质 |
304不锈钢 |
|
上盖开启 |
铰链侧开 |
|
加热台材质 |
304不锈钢 |
|
内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
|
观察窗尺寸 |
Φ70mm |
|
加热台尺寸 |
φ60mm |
|
观察窗热台间距 |
75mm |
|
加热台温度 |
﹣196~350℃ |
|
加热台温控误差 |
±1℃ |
|
真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
|
允许正压 |
≤0.1MPa |
|
真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
|
气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
|
电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
|
电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
|
探针数量 |
4探针 |
|
探针材质 |
钨针 |
|
探针尖 |
10μm |
|
探针移动平台 |
|
|
X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
|
X轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
电子显微镜 |
|
|
显微镜类别 |
物镜 |
|
物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
|
工作间距 |
90mm |
|
相机 |
sony 高清 |
|
像素 |
19201080像素 |
|
图像接口 |
VGA |
|
LED可调光源 |
有 |
|
显示屏 |
8寸 |
|
放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |