技术参数；
|
真空腔体 |
|
|
型号 |
KT-0904T-RL高低温型 KT-0904T-R高温型 |
|
类型 |
加热型400℃ 加热制冷型室温到-190℃~400℃ |
|
腔体材质 |
304不锈钢 |
|
腔体内尺寸 |
φ90x40mm |
|
腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） |
|
腔体抽气口 |
KF16 |
|
腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
|
腔体出气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
|
腔体正压 |
≤0.05MPa |
|
腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
|
|
|
|
样品台 |
|
|
样品台材质 |
304不锈钢 |
|
样品台尺寸 |
26X26mm |
|
样品台-视窗 距离 |
30mm（可选凹视窗间距15mm） |
|
样品台测温传感器 |
A级PT100铂电阻 |
|
样品台温度 |
室温到400℃（可选高低温样品台 高温400℃低温-190℃） |
|
样品台测温误差 |
±0.2℃ |
|
样品台变温速率 |
高温10℃/min 低温5℃/min 值 |
|
温控仪 |
|
|
温度显示 |
7寸人机界面 |
|
温控类型 |
标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） |
|
温度分辨率 |
0.1℃ |
|
温控精度 |
±0.5℃ |
|
温度信号输入类型 |
PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） |
|
温控输出 |
直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） |
|
辅助功能 |
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 |
|
探针 |
|
|
电信号接头 |
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
|
电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
|
探针数量 |
4探针 |
|
探针材质 |
镀金钨针 |
|
探针尖 |
10μm |
|
探针移动平台 |
|
|
X轴移动行程 |
12mm ±6mm |
|
X轴控制精度 |
≤5μm |
|
Y轴移动行程 |
12mm ±6mm |
|
Y轴控制精度 |
≤5μm |
|
Z轴移动行程 |
12mm ±6mm |
|
Z轴控制精度 |
≤5μm |
|
数码显微镜 |
|
|
显微镜类别 |
物镜放大+电子放大 |
|
显微镜放大倍数 |
100倍 |
|
显微镜工作间距 |
50-150mm |
|
相机分辨率 |
1080P 60帧 |
|
相机信号输出 |
HDMI输出+USB输出 |
|
LED可调光源 |
LED光源 |
|
显示屏 |
5寸 屏幕一体机 |