M2200VA韩国Line Tech质量流量计

韩国LINE TECH质量流量控制器气体质量流量控制器质量流量计

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韩国linetech气体质量流量计耐压90bar，可测量腐蚀性气体，结构紧凑，重复性高，响应时间快，高，可广泛用于设备配套。韩国LINETECH经济型气体质量流量控制器zui大流量可测到300SLPM，质量流量计的zui大流量可测，

LINE TECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程，终于诞生出今天的M系列，MFC/MFM产品。

LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

韩国原装进口数字式、高气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算。广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。

韩国LINE TECH会社，与韩国科学技术研究院（KAIST)历经多年研发，于1997年推出M20、M50和M100三大系列产品。

2012年，韩国LINE TECH会社M3300和M3500系列，MD30、MD50、MD100、MD300和MD500等系列产品的相继提供上市，LINE TECH 已经正式完成了大流量和数字式产品的进程。

产品已经远销美国、澳大利亚、波兰、日本、台湾、伊朗、新加坡、中国和印度等国。

LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

今天，正在高速发展的LINE TECH 定会以崭新的阵容，更加完善的运营体系，为您带来全方位的服务。

应用：

所有工业

气体混合及分析

注气、表面加工行业（PVC,CVD,反应器等）

半导体工业 l 部件泄露检测

产品研究和开发

高压行业

光纤

燃料电池

反应器系统

气体的混合系统

优势：

测量质量流量

不需要温度、压力补偿

紧凑的流量控制系统

高（±0.7%F.S）

耐高压（95公斤）

快速响应时间（＜1秒）

高重复性（±0.25%F.S)

数字通信：RS-485 规格

无需压力和温度校正

方便型的流量控制系统

主要参数：

流量范围： 0.01-30(slpm)

响应时间： ≤2

精度： ≤1%

重复性： ±0.25

输出信号： 0-5vdc或4-20mA

供电电压： 15-28vdc 350mA

温度范围： 0-50℃

漏率： 1×10负9次方

使用范围： 2-100% for max range

模拟质量流量控制器：

M3030VA M3100VA M3200VA MS3150VA MS3400VA

MS3500VA，MS3600VA，MS3700VA，MS3800VA

数字质量流量控制器：

MD100C MD30C MD400C MD500C MD600C MD700C MD800C

模拟质量流量计：

M2030VA M2100VA M2200VA MS2150VA MS2400VA

MS2500VA MS2600VA MS2700VA MS2800VA

M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A

质量流量计：

流里范围(N2)：10SCCM~1000SLPM

响应时间：<2 sec

度：≤±1% FS

重复精度：±0.25% FS

输入/输出信号：0~5 Vdc OR 4~20 mA

供电电源：350mA

耐压：<90bar

工作环境：0~50 °C

漏率：1*10E-9 atm cc/sec

使用范围：2 ~

质量流量控制器：

流里范围(N2)：10SCCM ~ 300slpm