高低温真空探针台KT-Z1604TZ
真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到400℃,低温部分采用液氮或液氦冷却组件,温度可低至-190℃,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
高低温真空探针台应用:
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
高低温真空探针台KT-Z1604TZ参数
真空腔体 |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
上盖开启 |
铰链侧开 |
加热台材质 |
304不锈钢 |
内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
观察窗尺寸 |
Φ70mm |
加热台尺寸 |
φ60mm |
观察窗热台间距 |
75mm |
加热台温度 |
﹣190~400℃ |
加热台温控误差 |
±1℃ |
真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允许正压 |
≤0.1MPa |
真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
探针数量 |
4探针 |
探针材质 |
钨针 |
探针尖 |
10μm |
探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
X轴控制精度 |
≤0.01mm |
Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
电子显微镜 |
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显微镜类别 |
物镜 |
物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
工作间距 |
90mm |
相机 |
sony 高清 |
像素 |
19201080像素 |
图像接口 |
VGA |
LED可调光源 |
有 |
显示屏 |
8寸 |
放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |
![高低温真空探针台KT-Z1604T](http://pic.bestb2b.com/2d0533b46a312e1ff7d4ec00c156726b.jpg)