真空炉是一种在炉腔内利用真空系统将炉腔内部分物质排出,使炉腔内压强小于一个标准大气压,从而实现炉腔内空间真空状态的工业设备。 它主要用于在无氧环境下进行高温加热和处理,具有防氧化、防烧损的优势,广泛应用于金属热处理、玻璃制造、半导体制造等领域。真空炉的内部结构通常由高温材料构成,如石英、金属合金等,以保证其能够耐受高温环境。此外,真空炉还具有快速升温和冷却的能力,可以提高生产效率。
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