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气体润滑轴承的应用:
(1)应用于高精度测量仪器。随着超精密加的发展,同时测量仪器也不断发展从而满足精密件的测量要求。测量仪器的工作精度很大部分取决于运动部件的运动精度。气体轴承在惯性导航仪中的应用,正式开启了气体润滑轴承在精密测量仪器中的应用。三坐标主轴及导轨,圆度仪摩擦力矩仪主轴及导轨,从60年代末就采用气体润滑轴承支撑,其精度提高1~2个数量级。德国FAG轴承公司的大型测量仪器和工作台已系列采用气浮轴承和气浮导轨。
(2)应用于超精密加工中。高的加工精度依赖于工作精度高机床。一台机床加工精度取决于高旋转精度及高转速的主轴,还有直线度极高无爬行的导轨以及微进给机构。从美国Y-12厂所制造的Duqont1#、Duqont2#超精加工机床采用了石墨空气轴承起气体润滑轴承在超精机械中得到广泛应用。
(3)其他行业中的应用。在电子计算机行业中制造大规模集成电路的工作台中采用了空气轴承;在医疗器械中应用于高速牙钻中,同时在纺织机械及食品机械甚至核工业都有应用,足见气体润滑轴承应用之广泛。
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