为了做好高洁净等级的洁净室的照明设计,首先介绍一下洁净厂房洁净度等级和洁净空气气流流型。新的《洁净厂房设计规范》GB中,对空气洁净度等级的规定作了较多的修改,GBJ73-84中规定空气洁净度分为4个等级,即100级、1000级、10000级、100000级,随着微电子、集成电路工业的高速发展,洁净厂房对空气洁净度的要求越来越高,要求控制尘粒的粒径到0.1µm以下,为了与国际接轨,新规范等同采用国际标准IS中的有关规定,空气洁净度等级从4个等级增加为9个等级,即1级、2级……9级。 规范中对洁净空气所流流型的选择也作了明确的规定“对于空气洁净度等级要求1~4级时,应采用垂直单向流;空气洁净度等级要求为5级时,应采用垂直单向流或水平单向流;6~9级时,宜采用非单向流”。所谓气流流型就是对洁净室内空气的流动形态和分布进行合理的设计。其特点:应考虑避免或减少涡流,有利于迅速有效地排除污染物,应尽量限制和减少室内污染源散发的尘和菌的扩散,维持室内生产环境所要求的空气洁净度等级。 由于洁净室的特殊性,一般照明灯具的选型应选用外型表面光滑,凹凸面少不家积灰,容易清扫且用不宜产生静电材料制成的灯具。在满足照度要求外,灯具的选型和布置主要还应根据室内气流流型来考虑,当顶棚为垂直单向流送风口时,如:超大规模集成电路厂的光刻车间,其高效过滤器送风口的面积有时可达顶棚面积的80%左右,这样就给灯具的布置带来了困难,此时宜选用泪珠式荧光灯,这种灯具对气流影响较少上,可安装在高效过滤器专用铝型材框架下侧,既不妨碍送风又有效的利用了仅有的顶棚空间,根据顶棚模数不同,可以选择灯具的不同长度。
