MX61L
产品特点:
半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
• 大型载物台搭载: 300mm晶圆全面检查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
• 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
• 反射光照明
型号 MX61L型显微镜
光学系统 UIS2光学系统（无限远校正光学系统）
显微镜镜体 射光照明（F.N. 26.5） 12V100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配） ，转换使用
内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开）
观测方法
观察镜筒 超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型
其它：超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置）
换镜转盘 电动五孔明/暗视野法用转盘，配备滑槽用于微分干涉衬比法观测：U-D5BDREMC型
载物台 MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm
原装日本中央精机2轴电动平台，可以进行XY轴同时联动。
带12寸晶圆载物台板。
内置反射光源：V~1.9/0.9 50/60Hz
能耗
体积/重量 体积：约710（宽）×843（长）×507（高）mm
重量：约51kg（载物台约重31kg）
