技术参数  名称 内容 测量 范围 Z轴 （垂直） 160μm X轴 （水平） 17.5mm 分辨率 Z轴 （垂直） 0．01μm/±20μm 0．02μm/±40μm 0．04μm/±80μm 测量 项目 参数 Ra   Rz==Ry(JIS)   Rq    Rt==Rmax  Rp   Rv   R3z     R3y   Rz(JIS) Rs   Rsk   Rku    Rsm   Rmr 标准 ISO,ANSI,DIN,JIS 图形 支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓 滤波器 RC,PC-RC,Gauss,D-P 取样长度(lr) 0.25,0.8,2.5mm 评定长度（ln） Ln= lr×n    n=1~5 传感器 测量原理 位移式差动电感 触针 天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径 测力 <4mN 导头 硬质合金，滑行方向半径40mm 滑行速度 lr=0.25,   Vt=0.135mm/s lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s lr=2. 5,    Vt=1mm/s 返回      Vt=1mm/s 示值误差 不大于±10% 示值变动性 不大于6% 电源 内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电 外形尺寸 158x63.5x46mm 重量 约300g 工作环境 温度：- 20℃ ~  40℃ 湿度：< 90% RH 储存运输环境 温度：- 40℃  ~   60℃ 湿度：< 90% RH