一.SJ6000激光干涉仪概述
激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点，激光干涉仪，则是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一。
二.SJ6000激光干涉仪用途
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、*高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。
三.SJ6000激光干涉仪技术参数
系统性能
² 测量方式：单频
² 稳频精度：0.05ppm
² 动态采集频率：50 kHz
² 预热时间：5-10分钟
² 工作温度范围：0~40℃
² 环境温度范围：0~40℃
² 存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
² 大气压力传感器：±1mBar (mbar)
线性测量
² 测量距离：0-40m
² 测量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 测量分辨率：1nm
² 测量*大速度：4m/sec
四.SJ6000激光干涉仪维护说明
1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。
2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。
3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。
4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。
6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。