一.SJ6000激光干涉仪概述
SJ6000激光干涉仪产品采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、zui高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。
二.
1、在数控机床检定中的应用
SJ6000激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。软件内置10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。
2、在三坐标检测中的应用
SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升，三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形，导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿，对提升测量精度具有重要意义。
3、在位移传感器中的应用
利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高，是位移传感器实现高精度校准的重要手段。
4、与其他镜组配合的应用
SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合，可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量，具有高的精度和效率。
SJ6000激光干涉仪技术参数：
技术线性测长精度：±0.5ppm(0~40℃)
激光稳频精度：0.05ppm
分辨率：0.001um
