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降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。因此, 目前能成熟的掌握该技术的单位非常的少。大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真正意义上的低温等离子废气处理技术。
离子活性氧废气净化设备利用高能非平衡等离子体脉冲放电技术,可在瞬间迅速使空间内产生高浓度的活性氧、自由基、臭氧，在组合阵列极的空间内形成活化区。当 有机分子通过活化区时其分子键被活化区内的离子迅速松动，高能非平衡等离子体脉冲放电方式使空间内产生巨大的压强，分子突然获得“爆炸”式的巨大能量瞬间 猛增了自由基使分子全部处于活化状态将动能转化为分子内部势能，打开了旧的化学键，使一个或几个分子键断裂。在定向反应作用下产生新的单一原子组成的气体分子和固态单质微粒。这也称之为电化学反应。
低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害；另外工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。
