一.性能特点
1.测量精度高、速度快，稳定性好
（1）使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
（2）以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
（3）使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
（4）配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
（5）分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
（1）可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
（2）结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
（3）可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
（1）使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
（2）将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
（3）向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
二.用途
产品具有测量精度高、测量速度快、*高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。
三.原理
发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
四.内置标准
ISO230-2 老版国际标准
IS 新版国际标准
ANSI B5.54 美国国家标准
ASME B89.1.12M 美国机械工程师协会标准
NMTBA 美国机床协会标准
BS 3800 英国机床标准
BS 4656 英国三测机标准
JIS B6330 日本国家标准
GB 中国国家标准
VDI 3441 德国机床标准
五.技术参数
系统性能
² 测量方式：单频
² 稳频精度：0.05ppm
² 动态采集频率：50 kHz
² 预热时间：5-10分钟
² 工作温度范围：0~40℃
² 环境温度范围：0~40℃
² 存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
² 大气压力传感器：±1mBar (mbar)
线性测量
² 测量距离：0-40m
² 测量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 测量分辨率：1nm
² 测量*大速度：4m/sec
