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有 机污染物中主要含有的气相污染物有H2S、NH3、CH3SH、VOCs（挥发性有机化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途径有两条：一是在高能电子 的瞬时高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其进入到催化阶段被分解成单质原子也就是还原为碳、氢、氧；二是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化有机分子中的碳、氢、氧结构。
离子活性氧工业废气净化设备利用高能非平衡等离子体脉冲放电技术,可在瞬间迅速使空间内产生高浓度的活性氧、自由基、臭氧，在组合阵列极的空间内形成活化区。当 有机分子通过活化区时其分子键被活化区内的离子迅速松动，高能非平衡等离子体脉冲放电方式使空间内产生巨大的压强，分子突然获得“爆炸”式的巨大能量瞬间 猛增了自由基使分子全部处于活化状态将动能转化为分子内部势能，打开了旧的化学键，使一个或几个分子键断裂。在定向反应作用下产生新的单一原子组成的气体分子和固态单质微粒。这也称之为电化学反应。
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