针对半导体行业有机废气和毒性气体的治理，济南净化设备有限公司尝试使用低温等离子废气处理技术。其净化原理是：
将普通的220V/380V交流电通过变压器，变频器转换为高频高压的电压，产生足以击穿气体的电压，释放出高能电子，高能电子破坏有机废气中的气体分子之间的化学键，断开这些化学键从而产生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体，等离子体中的氧原子和碳原子结合形成二氧化碳，氧原子和氢原子结合形成水分子，终产生排放到大气中的气体为无污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。
该技术具有以下优点：
放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。
反应快，不受气速限制。
采用防腐蚀材料。
只需用电，操作极为简单。
设备启动、停止十分迅速，随用随开，常温常压下即能使用。
气阻小，适用于大风量的废气处理。
河北恒宁环境科技
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