海德汉CERTO长度计

非常高的准确性

·         19°C至21°C时，系统精度可达±0.03μm

非常高的重复性

·         重复性典型值<0.02μm，测量范围为25 mm

Zerodur规模

·         在0°C和50°C之间接近0 ppm / K标度膨胀

·         提供真实的测量值

由Invar做的测量身体

·         测量回路中的部件由Invar制成

·         ≈1 x 10-6 ppm / K长度测量仪的热膨胀

滚珠轴承导轨

·         低摩擦球轴承导轨

·         高精度测量回路

测量范围

25 or 60 mm

系统准确性

± 0.1 µm
With linear error compensation up to ±micro;m

重复性

CTltmicro;m
CTltmicro;m

短程精度

<micro;m

柱塞驱动

By motor or coupling

接口

11 µAPP