光氧化废气净化设备包括箱体、过滤层、紫外光发射管等配件，箱体一端开设有进风口，内位于进风口处设有初效过滤层，初效过滤层的上方设有若干紫外光发射管，紫外光发射管之间设有若干吸附式活性碳纤维层，相邻吸附式活性碳纤维层之间设有光催化反应层，箱体的另一端设有出风口，箱体内位于靠近出风口处设有微波发射器，箱体外壁上设有控制器
废气源→集气罩（搜集车间各个废气源的废气，接入主管道）→废气净化塔（吸收掉粉尘以及颗粒物，降低废气温度，为等离子提供优良的运行环境）→一级低温等离子废气净化器（破坏废气分子结构，转化为无污染物质）→二级低温等离子废气净化器（进一步破坏废气分子结构，转化为无污染物质）→高压风机（高压的吸力作用下将风抽出车间）→废气洗涤塔（进一步吸收粉尘以及颗粒物以及一些酸碱气体，水洗小分子碎片，利于检测达标）→光解式废气净化装置→烟囱高空排放（也可低空排放）。