低温等离子体技术动力消耗低，装置简单，易于操作，占地面积小，使用方便，近年来得到迅速发展。
催化氧化技术
催化氧化技术的工作原理是VOCs在250——450℃温度的环境和相关催化剂的条件下，发生氧化反应，生成二氧化碳和水，从而达到处理VOCs的目的。
光催化技术是指在光照在半导体的条件下，当光子能量高过催化剂的吸收阈值时，半导体的价带电子能够从价带跃迁到导带，产生光生电子和空穴，继而空气中的纳米颗粒物表面形成超氧负离子，后和催化剂表面形成的羟基自由基将挥发性有机物转化成二氧化碳和水无毒无害物质。
生物处理技术
生物处理技术早是应用于废气脱臭，而随着对VOCs治理技术研究的不断深入，该技术逐步被应用于挥发性有机污染物的治理领域。
生物处理技术的原理是将化工企业中产生废气流经带有液体吸收剂的吸收装置，该装置中培养有经过驯化的特种微生物，该种微生物可将废气分解代谢，从而达到废气治理的目的。
生物处理技术按照工艺科分为生物洗涤技术、生物过滤技术和生物滴滤技术等，其对应的处理装置分别为生物洗涤塔、生物过滤池和生物滴滤塔等。
